Bevorzugte Bezeichnung
Electron beam deposition
Definition
Genaue Erklärung, was der Begriff bedeuten soll- A synthesis method where an electron beam is used to decompose gaseous molecules leading to deposition of a solid on a nearby substrate. (Ontobee, Chemical Methods Ontology)
Oberbegriff
OberbegriffIn anderen Sprachen
Bezeichnungen des Begriffs in anderen Sprachen.- Electron beam deposition
URI
https://purls.helmholtz-metadaten.de/skosmos/sdv/ElectronBeamDeposition