Перейти к основному содержанию

Поиск по словарю

Язык содержимого

Информация о концепции

Предпочитаемый термин

Sputtering  

Определение

  • In physics, sputtering is a phenomenon in which microscopic particles of a solid material are ejected from its surface, after the material is itself bombarded by energetic particles of a plasma or gas (Wikipedia)

Концепция более широкого понятия

URI

https://purls.helmholtz-metadaten.de/evoks/sdv/sputtering

Скачать концепцию