Перейти к основному содержанию

Поиск по словарю

Язык содержимого

Информация о концепции

Предпочитаемый термин

Sputter coating  

Определение

  • A piece of apparatus, consisting of an anode (the specimen) a cathode (the source of sputter atoms or 'target') and a magnet, all held inside a vacuum chamber, which is used to coat specimens with a thin layer of atoms (e.g. Au) prior to microscopy. (TIB, Chemical Methods Ontology)

Концепция более широкого понятия

URI

https://purls.helmholtz-metadaten.de/evoks/sdv/sputterCoating

Скачать концепцию