Hyppää sisältöön

SampleDescriptionVocabulary

Hae sanastosta

Sisällön kieli

Käsitteen tiedot

... > Sample > Material > Material processing > Material treatment > Surface structuring > Surface structuring method > Lithography > Electron beam lithography
... > Sample > Sample preparation > Sample preparation method > Mechanical and surface treatment > Mechanical and surface treatment method > Surface structuring > Surface structuring method > Lithography > Electron beam lithography

Käytettävä termi

Electron beam lithography  

Yläkäsite

URI

https://purls.helmholtz-metadaten.de/evoks/sdv/ElectronBeamLithography

Lataa tämä käsite:

RDF/XML TURTLE JSON-LD