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Angaben zum Begriff

Bevorzugte Bezeichnung

Electron beam deposition  

Definition

  • A synthesis method where an electron beam is used to decompose gaseous molecules leading to deposition of a solid on a nearby substrate. (Ontobee, Chemical Methods Ontology)

Oberbegriff

URI

https://purls.helmholtz-metadaten.de/evoks/sdv/ElectronBeamDeposition

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